探访建设中的格罗方德成都项目:规模领先 洁净度比手术室高百倍

www.scol.com.cn (2017-04-12 09:06:22) 来源:四川在线
编辑:邓强  

四川在线消息(四川在线记者 王玥)4月11日,记者从成都高新区获悉,位于成都高新区西部园区的格罗方德晶圆代工厂已完成100%土石方工程,50%以上桩基工程,将于明年3月前完成项目建设。

据悉,这家代号为“Fab11”的晶圆代工厂,是格罗方德在全球的第11家晶圆代工厂,也是中国西南地区首条12英寸晶圆生产线,建成后将成为世界上标准最高、体量最大的晶圆代工厂之一。

格罗方德Fab11一期二期厂房效果图

Fab11建设方成都建工集团的项目负责人袁明介绍,相比常规电子厂房18个月的设计、建设周期,Fab11项目将在一年内完成建设,无论从建设规模、建设标准、智能程度等来说,都远高于其他一般厂房。为高效高质推进项目建设,相关单位实行“5+2”“白+黑”的施工方式全力推进,“到了建设高峰期,预计会有六七千人同时在现场施工”。

“格罗方德12英寸晶圆成都制造基地项目,对四川省、成都市电子信息产业发展具有重要意义,从建设方面来说,也是一项十分重大的挑战。”袁明说,成都建工集团将保证在推进施工进度的同时,高质量打造一座世界一流的智能自动化工厂,“这是一个具有里程碑意义的建设项目,能够参与这项工程的每个人都有一种荣誉感”。

最新进度:主生产厂房完成土方开挖 桩基施工完成50%以上

8台打桩机一字排开、齐头并进;十余台挖掘机保持队形,高效挖运……日前,记者来到项目现场时,展现在眼前的就是这样一幅热火朝天的建设场景。自3月初项目实质施工以来,20万平方米的主生产厂房范围内,土石方开挖已完成100%,桩基施工完成50%以上。

按照建设计划,Fab11项目将在明年3月前全面完成,达到设备调试、生产的基本条件。常规电子厂房从设计到施工完成,需要约18个月时间,规模更大、施工要求更高的Fab11项目,须在12个月完成建设,对建设方来说是一场不折不扣的“硬仗”。

如何打好这场“硬仗”?袁明介绍,现场将通过推行“5+2”“白+黑”的施工方式,增配管理人员及机具设备,加倍资金投入等方式以确保明年3月完成建设。本项目仅管理团队就有近400人,“到了建设高峰期,预计会有六七千人同时在现场施工。”

作为格罗方德在中国最大和最先进的晶圆制造基地,对关键部位建筑材料和专用设备的技术指标要求都非常高,很多建材、设备须要从全球范围内精挑细选“量身定制”。袁明介绍,“计划在5月完成系统设备的招标采购。”

规模领先世界:占地近76万平方米 超世界同类型代工厂

今年2月10日,格罗方德12英寸晶圆成都制造基地项目宣布开工。格罗方德是全球第二大晶圆代工厂,此次落户成都高新区的格罗方德12英寸晶圆生产基地,总占地近76万平方米,相当于1800个标准篮球场的大小。

据悉,项目一期建设主流CMOS工艺12英寸晶圆生产线,二期建设格罗方德最新的22FDX22nmFD-SOI工艺12英寸晶圆生产线,总产量将达到每月8.5万片晶圆片。除了主生产厂房外,项目还包括中央动力厂房、厂务设施罐区、办公用房等区域。

“这么大规模的晶圆代工厂,从世界范围来看都是十分少见的。”袁明说,此前,建设方前往新加坡等地的晶圆代工厂进行过考察,从建设体量规模来说,格罗方德成都项目都远超上述晶圆代工厂。

据了解,Fab11项目包括至少3类重点建筑:囊括百级洁净车间的FAB厂房类建筑;制备、储存、处理有毒化学气体及液体的气体站及危险品库类建筑;进程高低压变配及输送管理的变电站及动力厂房类建筑。

据悉,以上3类建筑均有各自的专业标准和要求,部分标准远超国标,直接沿用国际标准。

技术难度高:6.5万平米空间的洁净度达100级 比手术室高百倍

除规模大外,项目还对建设技术有相当高的要求。晶圆是最常用的半导体材料,晶圆越大,同一圆片上可生产的IC芯片就越多,对材料技术和生产技术的要求也更高。22FDX22nmFD-SOI工艺是格罗方德最为先进的技术之一,对厂房也有更高的要求。

作为集成电路乃至芯片级的制造工厂,有别于产业链下端的封装、组配工厂,要求的配套设施更为全面专业。Fab11厂区按BOD(基础设计)规划,共有16类建筑与构筑物,包括生产调度及研发厂房、芯片厂房、动力站、化学品供应站和地下雨水蓄水池等。其中动力站、危险品库、大宗气体站等建筑都是其他传统工业厂房中罕见的。

“我们不仅要为格罗方德生产线建设一个生产空间,更要建设一个完整的生产系统。就好像一个人,除了躯干之外还要有血管、神经系统等。”成都建工集团项目经营经理王霞表示,Fab11成都工厂有大量常规工业厂房未涉及的制程工艺和标准考量,包括离子注入、光刻胶、封装、处理器等17个工艺环节。

与常规的厂房项目相比,该项目最大的难点就在于复杂的生产系统,在几十万平方米的空间内,囊括了动力系统、特殊气体站、超纯水系统等复杂体系,并要在建设中同步完成。项目采用世界一流的自动化技术,建设自动化物料运送系统、厂务管理系统、数据分析系统等,打造智能电子厂房,实现全自动化的晶圆制造。

值得关注的是,晶圆生产必须在洁净环境下进行,Fab11项目将打造6.5万平方米的晶圆生产洁净室,洁净等级为100级。王霞向记者介绍,一般的医院手术室是10000级,开胸手术的手术室是1000级,脑外科、心脏外科用的手术室能够达到100级。手术室的面积只有几十平方米,晶圆厂房则要保证6.5万平方米的空间都保持100的洁净度,局部房间达到1级标准。

1级标准是什么概念呢?即每立方英尺的空气中0.5微米或稍大些的微尘数量不超过1个,而人的头发丝直径为80微米,即在每立方英尺的空气中相当于1/160根头发丝粗细的微尘数量不超过1个。

“从工厂规模到技术标准,Fab11工厂都堪称世界一流的晶圆代工,我们将以专业的态度,发挥创新精神,高标准高效率完成项目建设。”袁明表示从项目各项手续咨询到审批,都得到了成都高新区相关部门的大力支持,“成都高新区高效、专业的办事作风深深触动了我们。我们也会秉承这种高效、专业的精神,加快推进项目建设”。

对格罗方德项目的支持,成都高新区并不止步于提高审批效率。为了全力保障格罗方德成都项目推进,今年3月,成都高新区成立了格罗方德项目指挥部,下设办公室、建设组、商务组、保障组,从项目建设推进、相关手续完善、环保审批督促等方面,明确分工任务、完善督查机制,为项目推进提供更专业、细致、全面的保障。

成都高新区相关负责人表示,格罗方德成都项目契合《国家集成电路产业发展推进纲要》,填补了中国西南地区12英寸先进工艺晶圆生产项目的空白,成都高新区将不遗余力地推进Fab11建设,助推成都打造全球知名的集成电路产业基地。

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