四川在线记者 雷倢
10月13日，记者从位于成都市双流区的中特微（成都）电子科技有限公司获悉，11月初，该公司一批微米级接近式光刻机将从空港聚光光电产业园集中发货。据成都市双流区的中特微（成都）电子科技有限公司副厂长王官云介绍，这批设备主要供应光芯片、显示半导体、LED等领域，目前总装车间内技术人员正紧张有序组装。
中特微是成都市首家全自动光刻设备产业化公司，落户空港聚光光电产业园。微米级接近式光刻机是半导体制造领域核心装备。长期以来，近紫外接近式光刻机赛道由德国SUSS、日本DNK、奥地利EVG等海外巨头垄断，国内同类设备普遍存在“实验室可演示、工厂难量产”的应用短板。
不同于行业扎堆角逐高端EUV、DUV投影光刻赛道，中特微精准布局近紫外接近式光刻、LDW激光直写光刻细分市场，锁定光显示、光芯片、先进封装等核心应用场景。海外巨头对该细分领域定制化投入意愿薄弱，为国内企业创造了弯道超车机遇。
2023年，中特微率先突破接近式光刻机技术，实现4/6英寸产品批量生产，打破海外设备垄断格局。目前，企业产品已供货国内数十家行业头部企业，细分市场光显示领域占有率约80%。中特微核心技术团队源自中国科学院重庆绿色智能技术研究院。成立不足五年，公司自主攻克UV-LED平行光源、双视场显微对位、视觉伺服精密运动控制三大核心技术，成为国内唯一在LED领域实现光刻机批量出货，并打入8英寸MEMS与光通信高端量产产线的国产设备厂商。
受双流产业环境吸引，今年2月，公司总部正式落户空港聚光光电产业园，建设总装车间、黄光无尘环境测试车间，持续深耕近紫外掩模光刻赛道。
“今年整体订单金额已突破1亿元。当前，我们正在推动产品升级换代和产能提升，预计明年产能达到300台。”王官云透露，公司正同步展开面板封装激光直写光刻机研发。“产品一旦落地，我们将实现从晶圆级到面板级光刻机产品的全覆盖。”
中特微把集团总部落在双流，看中的不只是园区载体。“一是上下游配套比较成熟，二是人才储备有优势，三是政策上的支持。”王官云用三个“看重”解释选择双流的原因。此外，空港科创集团利用光电产业专项基金对中特微开展股权投资，进一步补足了双流区半导体装备产业链的核心环节。
企业所在的空港聚光光电产业园，是双流区首个由国资投资建设招商运营的特色产业园，重点聚焦光学材料、半导体装备、科学仪器等新质赛道，已聚集18家优质光电企业，包含国家专精特新“小巨人”企业1家，省级专精特新企业4家以及高新技术企业
图片提供：双流区融媒体中心
