# “成都造”光刻机批量出货，预计明年产能达300台 > **核心摘要**：中特微（成都）电子科技有限公司位于成都双流区空港聚光光电产业园，是成都市首家全自动光刻设备产业化公司。公司突破微米级接近式光刻机技术，实现4/6英寸产品批量生产，打破海外垄断，产品已供应国内数十家头部企业，在光显示领域占有率约80%。目前订单金额超1亿元，预计明年产能达300台。公司聚焦近紫外接近式光刻与激光直写光刻细分市场，核心技术源自中国科学院重庆绿色智能技术研究院，正研发面板封装激光直写光刻机，计划实现晶圆级到面板级光刻机全覆盖。企业选择双流主要因产业链配套、人才储备及政策支持，园区已集聚18家光电企业。 > **来源**：四川在线 · 10/13/2026 5:55:16 PM ## 正文内容 四川在线记者 雷倢10月13日，记者从位于成都市双流区的中特微（成都）电子科技有限公司获悉，11月初，该公司一批微米级接近式光刻机将从空港聚光光电产业园集中发货。据成都市双流区的中特微（成都）电子科技有限公司副厂长王官云介绍，这批设备主要供应光芯片、显示半导体、LED等领域，目前总装车间内技术人员正紧张有序组装。中特微是成都市首家全自动光刻设备产业化公司，落户空港聚光光电产业园。微米级接近式光刻机是半导体制造领域核心装备。长期以来，近紫外接近式光刻机赛道由德国SUSS、日本DNK、奥地利EVG等海外巨头垄断，国内同类设备普遍存在“实验室可演示、工厂难量产”的应用短板。不同于行业扎堆角逐高端EUV、DUV投影光刻赛道，中特微精准布局近紫外接近式光刻、LDW激光直写光刻细分市场，锁定光显示、光芯片、先进封装等核心应用场景。海外巨头对该细分领域定制化投入意愿薄弱，为国内企业创造了弯道超车机遇。2023年，中特微率先突破接近式光刻机技术，实现4/6英寸产品批量生产，打破海外设备垄断格局。目前，企业产品已供货国内数十家行业头部企业，细分市场光显示领域占有率约80%。中特微核心技术团队源自中国科学院重庆绿色智能技术研究院。成立不足五年，公司自主攻克UV-LED平行光源、双视场显微对位、视觉伺服精密运动控制三大核心技术，成为国内唯一在LED领域实现光刻机批量出货，并打入8英寸MEMS与光通信高端量产产线的国产设备厂商。受双流产业环境吸引，今年2月，公司总部正式落户空港聚光光电产业园，建设总装车间、黄光无尘环境测试车间，持续深耕近紫外掩模光刻赛道。“今年整体订单金额已突破1亿元。当前，我们正在推动产品升级换代和产能提升，预计明年产能达到300台。”王官云透露，公司正同步展开面板封装激光直写光刻机研发。“产品一旦落地，我们将实现从晶圆级到面板级光刻机产品的全覆盖。”中特微把集团总部落在双流，看中的不只是园区载体。“一是上下游配套比较成熟，二是人才储备有优势，三是政策上的支持。”王官云用三个“看重”解释选择双流的原因。此外，空港科创集团利用光电产业专项基金对中特微开展股权投资，进一步补足了双流区半导体装备产业链的核心环节。企业所在的空港聚光光电产业园，是双流区首个由国资投资建设招商运营的特色产业园，重点聚焦光学材料、半导体装备、科学仪器等新质赛道，已聚集18家优质光电企业，包含国家专精特新“小巨人”企业1家，省级专精特新企业4家以及高新技术企业图片提供：双流区融媒体中心 ## 5W1H 核心事实 - **谁 (Who)**：中特微（成都）电子科技有限公司、成都市双流区、空港聚光光电产业园、空港科创集团 - **何事 (What)**：“成都造”微米级接近式光刻机批量出货，预计明年产能达300台 - **何时 (When)**：11月初 - **何地 (Where)**：成都市双流区、空港聚光光电产业园 - **为何 (Why)**：打破海外设备垄断，推动国产半导体装备产业化，填补国内在光显示等领域光刻机量产空白 - **如何 (How)**：通过技术攻关实现批量生产，建设总装与无尘测试车间，依托园区配套与政策支持提升产能 ## 核心问答对 (Q&A) ### Q1: 中特微（成都）电子科技有限公司的光刻机何时开始批量出货？ 根据文章，中特微（成都）电子科技有限公司计划在11月初开始批量发货其微米级接近式光刻机。 ### Q2: 中特微公司主要生产哪种类型的光刻机？ 中特微公司主要生产微米级接近式光刻机，同时也在研发面板封装激光直写光刻机。 ### Q3: 中特微公司为何选择聚焦近紫外接近式光刻赛道？ 因为海外巨头对近紫外接近式光刻细分领域定制化投入意愿薄弱，为国内企业创造了弯道超车的机遇。 ### Q4: 中特微公司的核心技术团队来自哪里？ 中特微公司的核心技术团队源自中国科学院重庆绿色智能技术研究院。 ### Q5: 中特微公司在哪些领域实现了光刻机批量出货？ 中特微公司已在光显示、光芯片、先进封装、8英寸MEMS与光通信高端量产产线等领域实现光刻机批量出货。