四川在线记者 罗韬 海报设计 周桐

近日，记者走进昊华气体（自贡）有限公司园区，布局规整开阔，主体是多栋银灰色与浅蓝相间的标准化厂房与装置区，高耸的精馏塔、反应釜与交错的银白色工艺管道纵横排布，构成了精密的工业景观。

“这些罐子看起来很普通，但是罐子里的气体可不普通。”见到记者时，昊华气体（自贡）有限公司精制车间主任王杰说。

王杰口中的气体叫三氟化氮（NF₃），作为一种高性能的无机化合物，因其独特的强氧化性和腐蚀性在微电子工业中扮演着至关重要的角色。作为集成电路制造领域的关键材料，三氟化氮广泛应用于干法刻蚀、清洗等核心工艺环节，就像一把“无影手”，在集成电路上刻出纳米级线路，是推动微电子技术进步不可或缺的力量。

苦修“无影手”这样的“独门绝技”，昊华气体有限公司成功入选首批国资委专项培育工程。不过，这个企业的“独门绝技”，远不止于此。

具有全球竞争力的高纯度三氟化氮

从自贡高铁站驱车前往昊华气体（自贡）有限公司的路上，司机说：“这里是工业园区，几乎没人居住。”吃饭除了食堂，别无选择。周围鲜有公共交通，需要大家搭伙拼车上下班。

在这样偏僻的环境中，这家企业的工程师不舍昼夜，研发出具有全球竞争力的高纯度三氟化氮，这些成绩背后历经20年。

工程师正在调试设备。受访者供图

20年前，国内特种气体行业尚处于萌芽期，三氟化氮的制备技术完全依赖进口，每公斤售价数千元，且供货周期动辄数月。

对于下游而言，供货周期并不稳定，带来了供应链的不确定性。痛点，激发了企业自主研发的决心。

特种气体的技术关键是纯度。

几年前，国内行业下游头部企业与昊华气体交流，这家头部企业关键产品刻蚀用的三氟化氮，需要的产品纯度是99.999%（5N），而昊华气体当时只能做到99.99%（4N）。

“1个9”的差距意味着什么？

更高纯度的气体，可以降低单位产品的纯化能耗，满足集成电路先进制程对电子气体的严苛要求。

对此，昊华气体成立专项组，搭建中试平台，针对电子级三氟化氮对痕量杂质的严格要求，通过优化各纯化单元的配置顺序与工艺参数，解决生产过程中各单元杂质的深度去除问题。同时，开发用于深低温精馏塔的专用设备，实现对精馏过程的精准温控。

“我们的产品纯度稳定在5N以上，在电解装置设计、低氟化物有效控制、低温精馏调控等共性行业难题上不断取得技术突破，形成了20余项具有自主知识产权的核心生产技术，为三氟化氮产业化发展奠定了坚实的基础。经客户测试，刻蚀速率和均匀性完全达到国际领先水平。”昊华气体（自贡）有限公司副总经理李梅告诉记者。

依托在研发三氟化氮过程中积累的“高效氟化合成”技术，昊华气体还直接推动了四氟化碳、六氟化钨等产品的快速迭代。同时，为产业链整体升级作出贡献。上游企业因昊华气体需求，将原料向高纯度甚至超高纯度发展；下游客户因昊华气体的稳定供应，降低了采购成本。

工程师正在调试设备。受访者供图

攻克多项技术难题打造“气体王国”

“无影手”只是昊华气体的招式之一，记者采访了解，昊华气体先后攻克多项“关键”技术，打造了一个“气体王国”。

昊华气体通过产品迭代升级持续在集成电路先进制程用电子气体、电力环保气体以及医药类气体等细分领域实现突破，形成20余种单品电子气体和30余种电子混合气体的产品矩阵，满足下游客户快速增长需求。

“近年来昊华气体推进高质量发展、加速产业升级。”李梅自豪地告诉记者。昊华气体在高纯三氟化氮、六氟化钨等传统优势产品稳健发展的基础上，围绕集成电路、高压电力、高端医药三大业务方向持续布局，持续加大研发投入，推进关键工艺优化与产能升级，逐步突破电子特种气体领域多项技术瓶颈，推动产品体系向高端化、系列化发展。

工作人员检测分析样本。受访者供图

“气体王国”背后，离不开研发能力的支撑。

李梅告诉记者，目前昊华气体拥有一支超150余人、经验丰富的科研团队，其中硕博占比高达56%。企业与高校院所等在关键技术联合攻关、高层次人才培养和高水平科技成果转化等方面保持深度的产学研合作。

展望未来，信心满满。“未来电子气体行业的竞争，将不再局限于单一产品或规模优势，而是对研发能力、制造能力与客户服务能力的综合考验。唯有实现多维能力协同发力，才能在全球电子特气竞争格局中占据更加有利的位置。”

在四川，昊华气体也积极响应四川省氟化工产业发展政策，计划继续加大在自贡的投入，打造集研发、生产和应用验证于一体的万吨级综合基地，助力西南地区集成电路产业集群高质量发展。